Trang chủ > Tin tức > Câu hỏi thường gặp

Vật liệu mục tiêu phún xạ là gì?

2023-05-17

Phủ phún xạ Magnetron là một phương pháp phủ hơi vật lý mới, sử dụng hệ thống súng điện tử để phát ra và tập trung các electron vào vật liệu được phủ, để các nguyên tử phún xạ của nó tuân theo nguyên tắc chuyển đổi động lượng và bay ra khỏi vật liệu sang đế với động năng cao. để ký gửi phim. Vật liệu mạ này được gọi là vật liệu mục tiêu phún xạ

Phún xạ là một trong những kỹ thuật chính để chuẩn bị vật liệu màng mỏng. Nó sử dụng các ion do nguồn ion tạo ra để tăng tốc và tổng hợp trong chân không, tạo thành chùm ion tốc độ cao bắn phá bề mặt rắn. Các ion trao đổi động năng với các nguyên tử bề mặt chất rắn, làm cho các nguyên tử bề mặt chất rắn tách ra khỏi chất rắn và lắng đọng trên bề mặt chất nền. Chất rắn bị bắn phá là nguyên liệu thô để lắng đọng các màng mỏng bằng phương pháp phún xạ, được gọi là vật liệu mục tiêu phún xạ. Nhiều loại vật liệu màng mỏng phún xạ đã được sử dụng rộng rãi trong các mạch tích hợp bán dẫn, phương tiện ghi âm, màn hình phẳng và lớp phủ bề mặt phôi. Nhiệt độ cao và môi trường chân không bên trong buồng phản ứng quy trình có thể khiến các nguyên tử kim loại này hình thành các hạt, sau đó được tạo khuôn và khắc thông qua kỹ thuật in khắc vi mô, tạo ra các lớp dây kim loại. Việc truyền dữ liệu của chip hoàn toàn dựa vào các dây kim loại này.


Vật liệu mục tiêu phún xạ chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp thông tin và điện tử, chẳng hạn như mạch tích hợp, lưu trữ thông tin, màn hình tinh thể lỏng, bộ nhớ laser, thiết bị điều khiển điện tử, v.v.; Nó cũng có thể được áp dụng trong lĩnh vực sơn thủy tinh; Nó cũng có thể được áp dụng trong các ngành công nghiệp như vật liệu chống mài mòn, chống ăn mòn ở nhiệt độ cao và các sản phẩm trang trí cao cấp.